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光罩mask光学系统检测机
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产品编号
所属分类
半导体设备
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详细介绍
功能：检测wafer mask 的glass side/pellicle side表面particle。
产品尺寸：6”wafer 光罩---玻璃:152*152mm；薄膜:149*113mm 厚度: 0.25 inch (6.35mm)
备注：Wafer Mask glass side & pellicle side表面particle，包括异物，指纹，油渍，刮伤，孔等缺陷。
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